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簡(jiǎn)要描述:Duke SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒:SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。
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Duke SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn),用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測(cè)和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則,微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍,覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過(guò)將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對(duì)掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo),并與其它的掃描儀進(jìn)行對(duì)比。用戶還以對(duì)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評(píng)估。產(chǎn)品包裝為50ml,微粒分散于超凈過(guò)濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動(dòng)粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測(cè)量方法學(xué):
為了確保與NIST的直接溯源性,產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過(guò)電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測(cè)量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法(1994年版“NIST測(cè)量結(jié)果不確性評(píng)估指導(dǎo)方案”)計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴(kuò)大性不確因素,覆蓋因子數(shù)為2 (K=2)。
微粒組成 | 聚苯乙烯 |
微粒密度 | 1.05g/cm3 |
微粒數(shù)量 | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
包裝規(guī)格 | 50ml瓶裝,每盒6瓶 |
微粒折射率 | 1.59 @ 589 nm (25℃) |
添加劑 | 無(wú) |
產(chǎn)品保質(zhì)期 | ≥2年 |
存儲(chǔ)條件 | 冰箱儲(chǔ)藏(冰點(diǎn)以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染 |
包裝內(nèi)容 | 標(biāo)與溯源證書、粒子計(jì)數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表(MSDS) |
杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子熱電粒子熱電標(biāo)準(zhǔn)粒子 thermo粒子 thermo標(biāo)準(zhǔn)粒子賽默粒子賽默標(biāo)準(zhǔn)粒子飛世爾粒子飛世爾標(biāo)準(zhǔn)粒子 fisher粒子 fisher標(biāo)準(zhǔn)粒子 (Duke thermo fisher) 美國(guó)Duke杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 聚苯乙烯 DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子/ 標(biāo)準(zhǔn)乳膠球粒子/ 聚苯乙烯/ 標(biāo)準(zhǔn)微粒/ 微粒子/ Duke粒子液體顆粒計(jì)數(shù)儀用 Duke 杜克3000系列20-900nm 產(chǎn)品描述: Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子微粒 3000系列-聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀器介紹 Duke科學(xué) Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子微粒 SURF-CAL用于半導(dǎo)體晶片掃描,0.047-3um 美國(guó)Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 3000 系列——-納米尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子(15mL包裝,1%固體含量) Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子挑戰(zhàn)性標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-EY-Cal系列(2-70um) 標(biāo)準(zhǔn)顆粒 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) DUKE粒子 標(biāo)準(zhǔn)粒子杜克粒子美國(guó)杜克 NIST粒子 NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 溯源粒子溯源物質(zhì) 溯源粒子進(jìn)口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠色和紅色干粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標(biāo)記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過(guò)濾膜挑戰(zhàn)微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯(PS)微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Power-Bind 鏈霉親和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(jì)數(shù)精度尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn) 3K,4K系列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000系列硅微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke 9000系列玻璃微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL標(biāo)準(zhǔn)顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(jì)數(shù)質(zhì)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000系列均勻尺度聚合物標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiáng)度驗(yàn)證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強(qiáng)度校正微粒 Clintex 標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke DRI-CAL系列干粉標(biāo)準(zhǔn)粒子歐共體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)局(BCR)認(rèn)證石英參考顆粒 Duke 3000系列納米級(jí)尺度標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 干粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色紅色藍(lán)色熒光微球 Duke 7000系列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 4000系列聚合物微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列
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